六氟化硫SF6 1.别名•英文名 Sulfur hexafluoride、Sulfur fluoride． 2.用途 电子设备、雷达波导、粒子加速器、变压器、避雷器等的气绝缘体，制冷剂，示踪装置，医疗，半导体制造中的蚀刻、化学相淀积、标准气，检漏气体，色谱仪的载气。 3.制法 在高温下硫和氟反应制得。 S+3F2→SF6 4.理化特性 分子量： 146.054 熔点(224kPa)： -50.8℃ 升化点(101.325kPa)： -63.7℃ 液体密度(-50.8℃)： 1880kg/m3 气体密度(0℃，101.325kPa)： 6.52kg/m3 相对密度(气体，空气=1，20℃，101.325kPa)：5.114 比容(21.1℃，101.325kPa)：0.1516m3/kg 临界温度： 45.5℃ 临界压力： 3759kPa 临界密度： 736kg/m3 熔化热(222.35K，224kPa)： 34.38kJ/kg 气化热(-63.8℃，101.325kPa)： 161.61kJ/kg 比热容(气体，25℃，101.325kPa)：CP=665.18J/(kg•K) (液体，225K)： C=759.14J/(kg•K) 蒸气压(-20℃)： 680kpa。 (0℃)： 1250kPa (30℃)： 2680kPa 粘度(101.325kPa，0℃)：0.0142mPa•S (液体，229.85K)：0.500mPa•S 表面张力(-50℃)： 11.63mN/m 导热系数(101.325kPa，0℃)：0.01206W/(m•K) 折射率(气体，0℃，101.325kPa)： 1.000783 5.毒性 最高容许浓度：10ppm(12mg/m3) 六氟化硫在生理学上是不活泼的，在药理学上认为是惰性气体。但是当含有SF4等杂质时便变成有毒物质。当吸入高浓度SF6时可出现呼吸困难、喘息、皮肤和粘膜变蓝、全身痉挛等窒息症状。 6.安全防护 用气装置可用肥皂液检漏。SF6无腐蚀性，可以使用不锈钢、铜、铝等通用材料。发生火灾时可用水和砂土灭火。泄漏的气体，可导入苛性钠和消石灰的混合溶液中处理，或者把泄漏的气瓶放入通风橱内。
